性能參數
最佳的極限壓力完全無油無水
沃爾姆ESDP干式螺桿真空泵使用了獨特的螺桿轉子型線，動力節省30%，排氣溫度低，工藝穩定，此產品適用于各種領域的真空工藝，也維持了最佳的真空效率和耐用性。
ESDP系列不使用油和水，用可變壓縮方式操作，水蒸氣和液態混合工藝，非常適合干燥，溶劑回收，化工，制藥，塑料等各種真空工藝。
優點及特征:
吸入效率（提升15%）。
排氣效率改善（2級可變，連續可變頻率）。
極限壓力：1*10-2Torr（托）。
排氣溫度降低50%。
電力消耗減少30%。
不使用油和水，不會造成油和水的污染。
低功耗、低噪音、低振動，動平衡好，沒有慣性力，可高速運行。
設計結構簡單，易保養，維修費用低，沒有易損件，壽命長。
適用范圍廣，具有高真空性能。
使用壽命長，氣體接觸部位都具有聚四氟乙烯、鎳和哈氏合金涂層。
不采用機械密封，密封部件無污染，不會因污染而頻繁發生故障。
前后采用稀有潤滑方式，提高軸承耐用性。
標準配件:
基座和防護罩
排氣消聲器及進氣分離器
吸氣口
止回閥
真空計
可選配件:
吸濾器
排氣冷凝器
吸入式氣液分離器
流量開關及溫度開關
ESDP干式螺桿泵的應用范圍：
ESDP系列在半導體合成及液晶生產上的應用，主要有半導體等離子增強氣相沉淀（PECVD）和反映離子刻蝕（RIE）工藝，液晶生產蝕刻制程和生產TFT熒幕電漿（PLASMA）的CVD制程中。此工藝要求返流為0，以保護工件免受污染。
在石油化工中，主要是抽取可凝性氣體，或有毒氣體，或腐蝕性氣體，或含有微塵的氣體。
制藥行業，用于藥物的真空干燥，藥物中間體回收，回收氣體消毒劑，為人造器官提供清潔無菌條件等。
化工中用于真空蒸餾及溶劑萃取回收，例如萃取回收丙酮，多元醇等工藝
工業排氣；集中式真空處理系統
擠出機的混合工藝及板材的排氣工藝
混合樹脂脫腥工藝;在脂肪酸生產中用于消除水污染，及噴射器中的阻塞物。
涉及無憂污水真空處理的所有應用
食品行業用于香料，香精濃度，食品包裝等。
